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特色:大尺寸片状样品去胶 ,平均性高 利用标的目的:科研与讲授产物上风:大尺寸片状样品去胶 ,平均性高产物设置装备摆设:★样品数目及尺寸:1片Φ6英寸(或以下)★腔体:低真空体系★刻蚀资料:光刻胶、聚酰亚胺、S
特色:效力高,多片同时去胶 利用标的目的:批量出产产物上风:高效力,多片同时去胶产物设置装备摆设:★样品数目及尺寸:15-20片Φ6英寸(或以下)★腔体:低真空体系★刻蚀资料:光刻胶等资料★去胶速度: