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特色:刻蚀速度节制便利,耐氟基或更弱侵蚀性气体,带双片送取样室(Load-Lock)利用标的目的:科研与讲授产物上风:刻蚀速度节制便利,耐氟基或
特色:氯基公用刻蚀装备,刻蚀速度节制便利,耐氯基强侵蚀气体,带双片送取样室(Load-Lock) 利用标的目的:科研与讲授产物上风:刻蚀速度节制方
特色:大样品刻蚀,挑选比高 利用标的目的:科研与小批量出产 产物上风:大样品刻蚀,挑选比高★样片数目及尺寸:1片12英寸样片★刻蚀腔体:高真空体系★
特色: 负角度刻蚀下降反净化,热态、冷态两种中和体系,腔体前后开门 利用标的目的:科研与讲授产物上风:负角度刻蚀下降反净化,热
特色: 负角度片状样品刻蚀,冷态中和体系 利用标的目的:科研与讲授产物上风:负角度刻蚀,冷态中和体系 产物设置装备摆设:★离子源品种:考夫曼离子源
特色:反映离子束刻蚀装备,离子束物理刻蚀才能+化学反映才能+化学帮助刻蚀才能利用标的目的:科研与讲授产物上风:离子束物理刻蚀才能+化学反映才能
特色: 负角度片状+棒状样品刻蚀,冷态中和体系,刻蚀大尺寸样品 利用标的目的:科研与小批量出产产物上风:负角度片状+棒状样品刻蚀,冷态中
特色:反映离子束刻蚀装备,离子束物理刻蚀才能+化学反映才能+化学帮助刻蚀才能 利用标的目的:科研与讲授产物上风:离子束物理刻蚀才能+化学反映能
特色: 效力高+多功效;垂直溅射+倾斜共溅射利用标的目的:科研与讲授产物上风:效力高+多功效;垂直溅射+倾斜共溅射产物设置装备摆设:★样片数目及尺寸:6
特色:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)利用标的目的:科研与讲授产物上风:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)产物
特色: 倾斜共溅射,大尺寸片状样品+小批量出产利用标的目的:科研与讲授产物上风:倾斜共溅射,大尺寸片状样品镀膜+小批量出产产物设置装备摆设:★样片数目及
特色:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)利用标的目的:科研与讲授产物上风:倾斜共溅射,单片送取样室(Load-Lock)产物设置装备摆设:★