成功获批广东省重点领域研发计划,HRG中山基地开启金刚石单晶及制品装备研发

 admin   2020-09-15 07:43   14 人阅读  0 条评论
原标题:成功获批广东省重点领域研发计划,HRG中山基地开启金刚石单晶及制品装备研发

集微网消息,9月11日,大尺寸高品质金刚石单晶材料生产装备及工艺技术研发和产业化项目,在哈工大机器人中山基地正式启动。

成功获批广东省重点领域研发计划,HRG中山基地开启金刚石单晶及制品装备研发

图片来源:南方+

该项目今年6月成功获批广东省重点领域研发计划-第三代半导体材料与器件专项,由哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院(下称”HRG中山研究院“)负责总体统筹及规划。

HRG中山研究院作为该项目牵头单位,将联合哈尔滨工业大学、哈尔滨工业大学深圳校区、中电55所、南京中电芯谷开展单晶金刚石及其器件的研究,在大尺寸单晶生长工艺、高精度微细加工、高效浅能级掺杂和器件集成化等方面重点布局,努力实现从原理探索到关键技术攻关的突破并进行产业技术储备,为我国在半导体技术领域实现弯道超车。(校对/若冰)

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