澳门精准四不像 是一种高真空的单室离子束蚀刻体系。澳门精准四不像 首要由蚀刻室、考夫曼离子源和电源、水冷样品转盘、泵体系、真空丈量体系、气路体系、电气节制体系等构成。

特色：

1.溅射室极限真空度：≤6.6x10-5pa(烘烤除气后)；

2.真空度：≤5pa，体系停泵12小时后关机。

3.国际80毫米考夫曼离子源的刻蚀室。

4.样品台安排在真空室下部，可安排50.8×50.8mm样品3件，样品台可扭转角度。

5.真空丈量接纳国产复合真空计。

6.国际MFC节制进气体系(AR)装备体系，流量别离为100SCCM。

7.接纳涂层工艺压力节制，确保涂层工艺的靠得住性、不变性和反复性。

8.考夫曼离子源装备体系。

澳门精准四不像 功效及构成。

澳门精准四不像 首要由溅射真空室、离子源、水冷基板平台、离子源电源、任务气路、真空收罗体系、机械装配、真空丈量、水冷报警体系和节制体系构成，可用于金属膜、介质膜蚀刻。

首要构成和手艺目标。

溅射室极限真空度：≤6.6x10-5pa(烘烤除气后)；

真空检漏率：5.010-7pa/S；

体系从大气中抽气：溅射室40分钟可达到6.6x10-4pa；

12小时后真空停泵:≤5pa；