感到耦合等离子刻蚀机道理

道理：

感到耦合等离子体蚀刻法是化学进程和物理进程配合感化的成果。

感到耦合等离子刻蚀机根基道理是，在真空高压下，ICP射频电源发生的射频输入到环耦合线圈，经由过程耦合辉光放电发生必然比例的夹杂蚀刻气体，从而发生高密度等离子体。鄙人电极的射频下，这些等离子体击中基底外表，间断基底图形地区半导体资料的化学键，发生与蚀刻气体的挥发性物资，以气体的情势与基底分手，并从真空管道中提取。

利用等离子蚀刻机和激光干与。

等离子体处置的利用能够利用于一切的根本，乃至庞杂的多少外形能够激活等离子体，等离子体洁净，等离子体涂层不题目。等离子体处置的热负荷和机器负荷很是低，是以高压等离子体也能够处置敏感资料。等离子体蚀刻机的典范利用包含：等离子体去除浮渣光阻资料剥离外表处置各向异性和各向异性生效…浏览全文>>。

等离子蚀刻机的节制和操纵。

节制方式run-to-run节制(R2R)模子展望节制(MPC)野生神经收集节制操纵和判定。1.确认万用表任务一般，丈量规模为200mv。2.冷探针毗连到电压表的正极，热探针毗连到电压表的负极。3.利用冷热探测器打仗硅片边缘未毗连的两个点。电压表显现这两点之间的电压是正的，标明电导率。

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