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特色: 负角度刻蚀下降反净化,热态、冷态两种中和体系,腔体前后开门 利用标的目的:科研与讲授产物上风:负角度刻蚀下降反净化,热
特色: 负角度片状样品刻蚀,冷态中和体系 利用标的目的:科研与讲授产物上风:负角度刻蚀,冷态中和体系 产物设置装备摆设:★离子源品种:考夫曼离子源
特色:反映离子束刻蚀装备,离子束物理刻蚀才能+化学反映才能+化学帮助刻蚀才能利用标的目的:科研与讲授产物上风:离子束物理刻蚀才能+化学反映才能
特色: 负角度片状+棒状样品刻蚀,冷态中和体系,刻蚀大尺寸样品 利用标的目的:科研与小批量出产产物上风:负角度片状+棒状样品刻蚀,冷态中
特色:反映离子束刻蚀装备,离子束物理刻蚀才能+化学反映才能+化学帮助刻蚀才能 利用标的目的:科研与讲授产物上风:离子束物理刻蚀才能+化学反映能