称号：RIE-400型：去胶+修胶+刻蚀，针对大尺寸片状样品

利用标的目的：批量出产

产物上风：去胶+修胶+刻蚀，针对大尺寸片状样品

产物设置装备摆设：

★样片数目及尺寸：1片450mm×450mm样片

★刻蚀资料：包罗并不限于Si、SiOx、SiNx、局部金属（如W、Mo）、聚合物等

★刻蚀腔体：高真空体系

★刻蚀不平均性：±3%-±6%

★刻蚀速度：0.1-4μm/min（视具体资料与工艺）

★任务台：包罗水冷

★电源设置装备摆设：高低两个射频电源，包罗主动婚配

★气路数目与品种：6路耐氟基侵蚀气路 或 用户选配

★He冷背吹体系：可选配

★起点检测节制：可选配质谱仪

★操纵形式：全主动+半主动节制

近似产物：大样品刻蚀（ICP-1200）

装备具体布局与功效，请征询发卖工程师。