DISC-SP-3200型澳门内部正版资料大全
产物概况
DISC-SP-3200型：倾斜共溅射，单片送取样室（Load-Lock）
利用标的目的：科研与讲授
产物上风：倾斜共溅射，单片送取样室（Load-Lock）
产物设置装备摆设：
★样片数目及尺寸： 1片Ф2英寸~Ф6英寸
★溅射资料：金属；非金属；化合物等薄膜资料。
★溅射腔体：高真空体系。
★Load-Lock：低真空体系 或 高真空体系。单片装，样品主动输送。
★溅射不平均性：≤±3%-±5％
★磁控靶：2-4支；可调角度
★溅射标的目的：样品下置（自上而下溅射）或 样品上置（自下而上溅射）
★加热：惯例加热，可选低温加热
★电源设置装备摆设：射频；直流；直流脉冲；直流偏压
★洗濯功效：可选配考夫曼离子源
★疾速反映溅射功效：可选配Speedflo
★膜厚监控功效：可选配晶控膜厚在线监测与起点节制
★操纵形式：全主动+半主动节制
装备具体布局与功效，请征询发卖工程师。
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